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精密LCR數字電橋的結構及工藝
點擊次數:1148 更新時間:2021-11-25
  精密LCR數字電橋的概念數字電橋就是能夠測量電感,電容,電阻,阻抗的儀器,這是一個傳統習慣的說法,早期的阻抗測量用的是真正的電橋方法,隨著現代模擬和數字技術的發展,早已經淘汰了這種測量方法,但LCR電橋的叫法一直沿用至今。如果是使用了微處理器的LCR電橋則叫LCR數字電橋。一般用戶又稱這些為:LCR測試儀、LCR電橋、LCR表、LCRMeter等等。
  精密LCR數字電橋的結構:
  1.測試夾:被測元件由此接入;
  2.讀數顯示器:測量值由4位7段LED顯示器顯示;
  3.量程指示:顯示被測量的單位(單位右側的小方塊為紅色LED指示燈);
  4.功能控制按鍵:測量控制按鍵由6個功能鍵組成(每個按鍵內的小方塊為紅色LED指示燈);
  5.電源輸入插座;
  6.電源開關。
  精密LCR數字電橋工作原理數字電橋的測量對象為阻抗元件的參數,包括交流電阻R、電感L 及其品質因數Q,電容C及其損耗因數D。因此,又常稱數字電橋為數字式LCR測量儀。其測量用頻率自工頻到約100千赫。基本測量誤差為0.02%,一般均在0.1%左右。這種特殊的蝕刻技術可選擇性地從晶圓的背面除去一部分硅,從而生成由堅固的硅邊框包圍的、數以百計的方形薄膜。而在晶圓的正面,每一個小薄膜的每個邊上都植入了一個壓敏電阻,用金屬線把小薄片周邊的四個電阻連接起來就形成一個惠斯登電橋。使用鉆石鋸從晶圓上鋸下各個傳感器。這時,硅傳感器已經初具形態,但還需要配備壓力端口和連接引線方可使用。

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